檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "光譜儀".ckeyword (精準) and year="96"
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本研究主要為設計、組裝、測試真空製程及分析系統。此系統分為三部分，其一為前置樣品傳送腔體(Load-lock chamber)，可快速傳送樣品進入其他腔體；其二為製程腔體，包含電子蒸鍍槍(Elect…
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本實驗使用s-PS/o-Xylene高分子溶液系統觀察其凝膠化過程。首先在sPS/o-Xylene溶液系統建構相圖主要分成gel-sol curve與sol-gel curve。gel-sol cu…
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本研究使用超高頻電漿化學氣相沉積系統來製備微晶矽薄膜，同時利用放射光譜儀來觀測電漿中成分的變化，並將放射光譜儀的量測結果和薄膜的結構特性做比較。並藉由調整電漿功率、反應總壓、上下電極間距、氫氣稀釋比…